Eesmärgi järgi
Rõhu--- ja jõutundlikud{1}}andurid, asendiandurid, vedeliku tasemeandurid, energiatarbimise andurid, kiirusandurid, kiirendusandurid, kiirkiirguse andurid, soojusandurid.
põhimõtteliselt
Vibratsiooniandur, niiskusandur, magnetandur, gaasiandur, vaakumiandur, bioloogiline andur jne.
Väljundsignaali järgi
Analoogandur: teisendage mõõdetud mitte{0}}elektriline suurus analoogelektriliseks signaaliks.
Digitaalne andur: teisendage mõõdetud mitte{0}}elektriline suurus digitaalseks väljundsignaaliks (sealhulgas otsene ja kaudne muundamine).
Pseudo{0}}digitaalne andur: teisendab mõõdetud signaali koguse sagedussignaaliks või lühiajalise-perioodi signaali väljundiks (sh otsene või kaudne teisendus).
Lülitage andur: kui mõõdetud signaal jõuab teatud läviväärtuseni, väljastab andur vastavalt kas madala{0}}taseme või kõrge{1}}taseme signaali.
Vastavalt selle tootmisprotsessile
Andur (joonis 3)
Andur (joonis 3)
Integreeritud andurid valmistatakse räni{0}}põhiste pooljuht-integraallülituste tootmiseks standardsete protsessitehnoloogiate abil. Tavaliselt on samale kiibile integreeritud ka osa testitava signaali eeltöötluse ahelast.
Õhukese kileandur moodustatakse vastava tundliku materjali õhukese kile sadestamisel dielektrilisele substraadile (substraadile). Hübriidprotsessi kasutamisel saab sellel substraadil valmistada ka ahela osi.
Paksu kileandur valmistatakse keraamilise substraadi, mis on tavaliselt valmistatud Al2O3-st, katmisel vastava materjali suspensiooniga ja seejärel kuum{2}}töödeldakse paksu kile moodustamiseks.
Keraamilised andurid toodetakse standardse keraamilise protsessi või selle ühe variandi (sool, geel jne) abil.
Pärast sobivaid ettevalmistusoperatsioone paagutatakse vormitud element kõrgel temperatuuril. Kahel protsessil (paks{0}}kile ja keraamilised andurid) on palju ühiseid omadusi ning mõnes mõttes võib paksu-kile protsessi pidada keraamilise protsessi teisendiks.
Igal protsessitehnoloogial on oma eelised ja puudused. Tulenevalt vähesest teadus-, arendus- ja tootmiseks vajalikust kapitaliinvesteeringust ning andurite parameetrite suurest stabiilsusest on keraamiliste ja paksukileandurite kasutamine mõistlik.
Mõõtmise järgi
Füüsikaliste andurite valmistamisel kasutatakse mõõdetavate ainete teatud füüsikaliste omaduste omadusi oluliseks muutumiseks.
Keemilised andurid on valmistatud tundlikest elementidest, mis suudavad keemilisi koguseid, nagu keemiliste ainete koostis ja kontsentratsioon, elektrilisteks suurusteks muuta.
Bio{0}}andurid on andurid, mis kasutavad erinevate organismide või bioloogiliste ainete omadusi organismide keemiliste komponentide tuvastamiseks ja tuvastamiseks.
vastavalt selle koostisele
Põhiandur: see on kõige elementaarsem ühe konversiooniseade.
Kombineeritud andur: see on andur, mis koosneb erinevate üksikute konversiooniseadmete kombinatsioonist.
Rakendusandur: see on andur, mis koosneb põhiandurist või kombineeritud andurist ja muudest mehhanismidest.
Tegevusvormi järgi
Vastavalt toimevormile saab selle jagada aktiivseteks ja passiivseteks anduriteks.
Aktiivsel anduril on toimingu tüüp ja reaktsiooni tüüp. Seda tüüpi andur võib saata mõõdetavale objektile teatud tuvastussignaali, tuvastada tuvastussignaali muutust mõõdetavas objektis või genereerida mõõdetavas objektis mingisuguse tuvastussignaali. signaali moodustamiseks. Tuvastussignaali muutuse tuvastamise viisi nimetatakse tegevustüübiks ning reaktsiooni tuvastamise ja signaali moodustamise viisi reaktsioonitüübiks. Radari- ja raadiosagedusvahemiku detektorid on aktiivsed näited, fotoakustiliste efektide analüsaatorid ja laseranalüsaatorid aga reaktiivsed näited.
Passiivsed andurid võtavad vastu ainult mõõdetava objekti enda tekitatud signaali, näiteks infrapunakiirguse termomeetrid, infrapunakaamerad jne.
